Gaertner 橢偏儀GaertnerLSE-MS 

Gaertner斯托克斯微光斑橢偏儀LSE-MS具有15微米的測量激光束直徑，手動XY微米定位臺和用于在您的PC上查看測量區(qū)域的相機(jī)。可以測量小至15 X 45微米的區(qū)域。該裝置的簡單但堅固的設(shè)計提供了易于使用和即時測量，是過于復(fù)雜的橢偏儀的受歡迎替代品。Gaertner LSE-MS橢偏儀采用先進(jìn)的StokesMeter™技術(shù)（曾獲得Photonics Spectra和R&D 100最佳新產(chǎn)品獎，無移動部件和調(diào)制器，能夠快速準(zhǔn)確地確定6328?激光測量光束在70°入射角下的完整偏振狀態(tài)。激光光源具有充足的光強(qiáng)度，提高了對吸收和粗糙散射薄膜的測量精度。激光光源具有光譜精確、穩(wěn)定和持久的優(yōu)點。其使用允許在光學(xué)、探測器和其他組件中進(jìn)行最佳儀器設(shè)計，從而實現(xiàn)高精度的測量。該設(shè)計節(jié)省空間，占地面積小，但可以容納寬達(dá)300mm的大樣品。樣品臺包括手動傾斜和臺高度調(diào)整，這通過計算機(jī)上的校準(zhǔn)屏幕進(jìn)行設(shè)置。

Gaertner斯托克斯橢偏儀GaertnerLSE-MS功能

 ，無活動部件的高級StokesMeter™測量頭。

測量提供全偏振態(tài)，提高準(zhǔn)確性。

使用光譜精確的激光橢圓儀進(jìn)行準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測量。

用于薄膜測量的最快儀器。

對于相似的晶圓，免傾斜、免聚焦、免人工操作。

簡單，緊湊的桌面儀器 - 價格具有競爭力。

Gaertner LSE-MS 可以配備以下選項：

可選線性旋轉(zhuǎn)臺 LRS

6 英寸線性和 360 度旋轉(zhuǎn)臺替代標(biāo)準(zhǔn)臺

可選 WIN 10 筆記本電腦

預(yù)裝驅(qū)動程序和軟件。

可選斯托克斯校準(zhǔn)套件 L118-KIT

使用 4 塊 Gaertner 可追溯晶圓及玻璃重新校準(zhǔn)任何斯托克斯橢圓儀 (L118G-KIT) 或

4 塊 NIST 可追溯晶圓及玻璃 (L118N-KIT)。大多數(shù)用戶不需要橢圓儀重新校準(zhǔn)。適用于具有極其嚴(yán)格公差和法規(guī)合規(guī)要求 的半導(dǎo)體制造商。

Gaertner斯托克斯橢圓儀 LSE-MS 規(guī)格

校準(zhǔn)： 使用計算機(jī)校準(zhǔn)屏幕手動調(diào)整傾斜和臺面高度。

相機(jī)： 在您的電腦上顯示測量區(qū)域

入射角： 70°

測量方法： 高級 StokesMeter™ 使用無移動部件和無調(diào)制器的四個固定硅探測器來確定完整的測量光束偏振

，因此測量穩(wěn)定且準(zhǔn)確。

測量時間： 實際上瞬間

測量激光： 6328? HeNe 氣體激光器，測量光束直徑為 1mm

準(zhǔn)直激光： 670nm 激光二極管

樣品（晶圓）尺寸： 寬至 300mm X 無限長度

階段: XY 手動定位臺，帶傾斜和臺高度調(diào)整。

軟件: 包含 Windows™ LGEMP 4 層程序。

所需計算機(jī): Windows™ 臺式機(jī)或筆記本電腦，帶 USB 2/3 端口（不包括）

膜厚范圍: 在基底上或在 1, 2, 3, 或 4 個已知的子層上，0 - 60,000 阿斯特姆。

精度和重復(fù)性: 在整個測量范圍內(nèi)優(yōu)于亞阿斯特姆。

折射率: 在整個測量范圍內(nèi) ±.0005。

電源: 100V-240V, 50-60Hz., 1 A

尺寸: 高度：16.5 寬度：27.5 深度：16 英寸

凈重： 45 磅。運輸重量：65 磅。

CDRH 合規(guī)性： 所有由 Gaertner 供應(yīng)的激光橢圓儀符合 CDRH 要求 21CFR 1040 的 Class

II 激光產(chǎn)品，其發(fā)射功率小于 1 mW 或 Class IIIb 小于 5 mW 的低功率輻射。與

任何明亮的光源（如太陽或弧燈）一樣，操作員不應(yīng)直接注視激光

光束或其在高反射表面的反射。

CE 合規(guī)性： 斯托克斯橢圓儀符合歐洲安全指令，并帶有CE標(biāo)志。

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