logosolinc 機(jī)械手38-3 配件

LPA系列

創(chuàng)新、高性能、兼容1級(jí)

獨(dú)特的一體式設(shè)計(jì)消除了外部控制器

以及互連電纜，同時(shí)保持插入式

兼容性

掃描電子設(shè)備、運(yùn)動(dòng)控制器和電源

包含在行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)足跡內(nèi)

由超低慣性無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，

即時(shí)響應(yīng)

能夠檢測(cè)的優(yōu)良掃描電子設(shè)備

透明、半透明和不透明物體

無需在不同尺寸之間進(jìn)行機(jī)械重新定位

與支持晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的無縫接口

所有晶片尺寸從45mm到480mm，以及各自的

方形基板的尺寸

Logosol控制軟件具有一套全面的

啟用與的兼容性和接口的命令

多種半導(dǎo)體平臺(tái)

快速對(duì)齊周期有助于實(shí)現(xiàn)

最大系統(tǒng)吞吐量

既可作為獨(dú)立設(shè)備使用，也可作為嵌入式設(shè)備使用

與晶圓搬運(yùn)機(jī)器人協(xié)同工作的設(shè)備

保留選項(xiàng)包括真空、非真空和

邊緣處理

LPA25-1E

創(chuàng)新、高性能、一體化設(shè)計(jì)消除了

外部控制器和互連電纜，同時(shí)進(jìn)行維護(hù)

兼容性下降

由超低慣性無刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，平穩(wěn)、瞬時(shí)

回應(yīng)

優(yōu)良的掃描電子設(shè)備能夠檢測(cè)透明，

半透明和不透明物體，無機(jī)械

在不同晶圓尺寸之間重新定位

運(yùn)動(dòng)控制軟件具有一套全面的常用功能

使用的命令可實(shí)現(xiàn)與的兼容性和接口

多種半導(dǎo)體平臺(tái)

典型的對(duì)齊周期時(shí)間小于四秒，有助于

實(shí)現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量

logosolinc 機(jī)械手38-3 配件