Novascan PSD-UV、PSDP-UV 和 PSDP-UVT紫外/臭氧處理系統

憑借*成千上萬的用戶，Novascan 的 PSD 和 PSDP 系列紫外/臭氧系統已被證明是性能可靠、行之有效的設備。歡迎立即聯系 Novascan，我們將協助您為您的應用選擇最合適的系統。

- 表面原子級清洗

- 晶圓清洗

- 光刻膠去除

- 聚合物、PDMS、COC、PS 的鍵合

- 薄膜制備前處理 Novascan PSD-UV  臭氧清洗機 儀器

- LCD 顯示屏清洗

- 有機分子去除

- 釋放被困的無機分子

- 微流控器件制造

- AFM 探針清洗Novascan PSD-UV  臭氧清洗機 儀器

- 微/納米圖案化

- 紫外固化膠黏劑、油墨等

- 化學表面改性

- 滅菌

- 表面氧化處理

- 金屬鍵合前處理等

樣品應用

除上述應用外，Novascan 的 PSD 系列設備還常用于掃描探針顯微鏡（SPM）相關應用。該設備可用于清除 AFM 探針、SPM 標準樣品及其表面上的常見油性薄膜和被困的無機材料。處理過程還可用于改變表面的疏水/親水特性，輔助探針和表面的化學改性，對探針進行氧化和硬化，從而在掃描過程中保持探針幾何形狀，并對探針進行銳化，以提高橫向分辨率。

Novascan 的設備被廣泛應用于*各地的納米技術、化學、生物學、光學、電子學、半導體以及其他科研實驗室中。PSD 系列相關的發表文獻數量仍在不斷增加。

樣品基材

硅

氮化硅

硼硅玻璃

二氧化硅

云母

石英

金屬

陶瓷

藍寶石

砷化鎵

聚合物（如 PDMS）

其他材料

儀器規格

PSD 和 PSDP 系統在性能和尺寸上相似，但在控制器功能、可升級性以及加熱臺選項上有所不同。

PSD 系列

PSD 系列儀器是數字控制的臺式系統，尺寸范圍從 4×4 英寸到 20×20 英寸不等。該系列系統配備了高性能的紫外網格燈系統和反射器，并設有可調高度臺，以實現樣品的最佳定位和性能表現。對于 4×4 英寸及以上的系統，還提供氣體進出口接口。系統由便捷的預設控制器控制，使操作非常簡便。

特征:

- 預設數字控制器

- 便捷的雙按鈕操作，操作簡單方便

- 自動化流程時間：15、30、45、60、90、120分鐘

- 處理周期可隨時手動中斷

- 系統不易升級為帶溫控工作臺的版本

- 節約成本且功能實用的設計使該系統深受歡迎

- 安裝和使用非常簡單

- PSD、PSDP 和 PSDP-UVT 系列提供多種有價值的可選配置，可滿足您所有應用需求（選項清單請參見附錄 B。）

PSD Pro 系列

PSDP 系列儀器是研究級紫外/臭氧清洗系統，提供對分子或有機物去除及眾多其他應用的最大靈活性。系統可在環境空氣中運行，也可通過兩個標準氣體接口之一通入氧氣，以增加臭氧產量。可編程數字控制器負責系統操作，確保精確的時間控制和最佳清洗參數。

- 特征:

- 可編程數字控制器，提供更多操作控制

- 數字倒計時顯示

- 可輕松升級為帶溫控系統

- 具有“暫停"和“中斷"功能

- 功能 的系統，提供增強的工藝控制

- 內置存儲，可保存之前的設置

- PSD、PSDP 和 PSDP-UVT 系列提供多種有價值的可選配置，可滿足您所有的應用需求（選項清單請參見附錄 B）。

PSD Pro 加熱系列

PSDP-UVT 在 PSDP-UV 的基礎上進一步升級，增加了溫控工作臺，以 分子有機物的去除效率。配備帶 PID 反饋回路的數字控制器，可精確維持高達 150°C 的穩定溫度（可選配 200°C）。

特征:

- 與 PSDP 相同，但出廠時已安裝溫控工作臺

- 提供最大潛力和靈活性

- 非常適合多用戶環境

- PSD、PSDP 和 PSDP-UVT 系列提供多種有價值的可選配置，可滿足您所有的應用需求（選項清單請參見附錄 B）。

系統通用特性與信息

電源:100、120、220、240 伏交流電，50-60 赫茲

樣品高度:所有系統均配有可調高度工作臺，并帶有外部工作臺鎖，以確保樣品與燈的適當間距。標準工作臺尺寸等于或大于紫外網格燈的尺寸。

紫外網格燈:產生臭氧的汞蒸氣網格燈，帶反射器。使用壽命約為5000 小時。

紫外反射器:紫外反射器通常比網格燈尺寸大 1 英寸。例如，對于4×4 英寸的網格燈，反射器尺寸為 5×5 英寸。

樣品裝載:腔體通過鉸鏈向上開啟，遠離樣品工作區，可實現約 360 度的樣品裝載空間。

安全:安全聯鎖裝置在腔體打開時會關閉紫外燈

氣體接口:標準配置為兩個接口，可選配更多接口

真空腔:可按特殊訂單選擇——鋁制或石英材質制造

熱紫外:增強型且更快速的處理，可用于光刻膠去除、聚合物鍵合等，溫度可達 150°C（可選 200°C）

臭氧中和器:中和器和泵為 PSD 和 PSDP 系統的可選配置。同時也可選配自動臭氧排放功能

雙紫外燈:可選配上下燈，實現樣品兩面同時處理

PSD 和 PSDP 系列的工作原理

PSD 和 PSDP 系列儀器通過產生適當比例的高能紫外光（波長為 185 nm 和 254 nm）來破壞有機分子（污染物）。185 nm 波段將分子氧 (O?) 激發形成高能臭氧 (O?) 自由基；同時，254 nm 波段激發表面的有機分子，使其高度易受臭氧自由基的破壞。

由于臭氧的半衰期較短，且會被 254 nm 波段破壞，因此使用可調樣品臺將樣品相對于燈的位置調整到最佳狀態，以獲得最佳性能。PSD和 PSDP 系列會將被破壞的污染物以 CO? 和H?O 蒸汽的形式釋放，而剩余的臭氧則會恢復為分子氧 (O?) 狀態。