UVFAB Systems清洗機 HELIOS-600 儀器

紫外線臭氧清洗系統

HELIOS-600型

UVFAB的紫外線臭氧清潔系統提供了一種簡單、廉價、快速的方法，可以在大多數基材上獲得無有機污染物的超清潔表面，如石英、硅、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁、載玻片等。在基材清潔后幾分鐘內，使用紫外線臭氧清潔劑可以很容易地實現超清潔表面。

紫外線臭氧清潔過程是一種光敏氧化過程，其中光致抗蝕劑、樹脂、人體皮膚油、清潔溶劑殘留物、硅油和助焊劑的污染物分子被短波紫外線輻射的吸收激發和/或解離。當分子氧被185nm紫外線波長分解，臭氧被254nm紫外線波長解離時，同時產生原子氧。254nm的紫外線輻射被大多數碳氫化合物和臭氧吸收。污染物分子的這種激發產物與原子氧反應形成更簡單、更易揮發的分子，這些分子從表面解吸。因此，當兩種紫外線波長都存在時，原子氧會不斷產生，臭氧會不斷形成和破壞。使用紫外線臭氧清潔劑，可以在幾分鐘內實現近乎原子級的清潔表面，而不會對您的設備造成任何損壞。

紫外線臭氧清洗系統

HELIOS-600型

UVFAB Systems生產的HELIOS-600型紫外線臭氧清潔劑

高強度紫外格柵燈（185nm+254nm）

6x6x1.5英寸（150x150mm）抽屜樣品臺

帶不銹鋼反射器的紫外線格柵燈

抽屜安全聯鎖裝置

低擁有成本2英寸外徑排氣口

室溫下的大氣過程

200mm紫外線臭氧清洗系統

UV-208型

高密度臭氧產生紫外格柵燈

紫外燈和樣品臺之間的距離可變

最多可處理8英寸x 8英寸（200毫米）的樣品

低溫晶圓清洗

占地面積小、緊湊

抽屜裝載機構

數字處理定時器、清洗定時器和紫外線燈小時計數器

300mm紫外線臭氧清洗系統

型號UV-312

300mm紫外線臭氧清洗機，型號UV-312

高密度臭氧產生紫外格柵燈

紫外燈和樣品臺之間的距離可變

最多可處理12英寸x 12英寸（300毫米）的樣品

低溫晶圓清洗

占地面積小、緊湊

抽屜裝載機構

數字處理定時器、清洗定時器和紫外線燈小時計數器

UVFAB Systems清洗機 HELIOS-600 儀器